3 \Date: 10:56:24 AM Tue Nov 20 2007
\r
12 \Description: Extended PicoForce
\r
14 \Microscope: PicoForce
\r
18 \Scanner file: 196pf.scn
\r
19 \Profile name: default
\r
20 \Analog 2: Atten switch
\r
21 \Number of Cassettes: 1
\r
24 \Serial number: 196PF
\r
26 \File name: 196pf.scn
\r
27 \Motor sensitivity factor: 4.22
\r
28 \Motor direction: Reverse
\r
29 \Retracted offset der: 0
\r
30 \Extended offset der: 0
\r
31 \Allow rotation: Allow
\r
35 \X sensitivity: 73.9428
\r
42 \Orthogonality: -0.0174533
\r
43 \Y sensitivity: 75.8
\r
49 \X slow sensitivity: 81.0197
\r
50 \X slow derate: 0.126565
\r
51 \Y fast sensitivity: 75.5155
\r
52 \Y fast derate: 0.122863
\r
53 \X slow-fast coupling: 0.233445
\r
54 \X slow-fast coupling derating: 4.49811e-005
\r
55 \Y slow-fast coupling: 0.233645
\r
56 \Y slow-fast coupling derating: -1.08402e-005
\r
57 \Fast cal freq: 2.41574
\r
58 \Slow cal freq: 4.71824
\r
59 \Xs-Yf coupling: 0.0299146
\r
60 \Xs-Yf coupling derating: -2.37302e-005
\r
61 \Ys-Xf coupling: 0.0696581
\r
62 \Ys-Xf coupling derating: 7.79055e-005
\r
69 \@Sens. Zsens: V 54.65000 nm/V
\r
70 \@Sens. CurrentSens: V 10.00000 nA/V
\r
72 \Parameter select: Main
\r
73 \Operating mode: Force
\r
74 \Tip serial number:
\r
83 \Bidirectional scan: Disabled
\r
85 \Scan rate: 0.996492
\r
90 \tappFilterCutoff: 100
\r
91 \dithFilterCutoff: 100
\r
92 \LocHighLowDistance: 200
\r
93 \SlopeOutOffset: 0.5
\r
101 \debugData: Standard
\r
113 \Minimum scan rate: 0.1
\r
119 \Step XY period: 0.005
\r
123 \Scope dualtrace: Dual
\r
126 \Auto pattern: Linear
\r
128 \Capture direction: Up
\r
129 \Capture prelines: 50
\r
130 \Engage Setpoint: 1
\r
132 \Drive feedback: Disabled
\r
136 \Profiler profiling: Disabled
\r
137 \Profiler length goal: 500
\r
138 \Profiler length actual: 0.001
\r
140 \Profiler scan time: 0.001
\r
141 \Profiler resolution: 0.001
\r
142 \Profiler x position: 0
\r
143 \Profiler y position: 0
\r
144 \Profiler z position: 0
\r
145 \Profiler profiler position: 0
\r
146 \Profiler tilt angle: 0
\r
147 \Profiler direction: Forward
\r
148 \Profiler axis: Aux
\r
149 \Profiler ramp-up ideal-distance multiplier: 25
\r
150 \Profiler ramp-up total-distance minimum: 2
\r
151 \Profiler ramp-up total-distance goal: 10
\r
152 \Profiler backlash-removal distance: 10
\r
153 \Profiler backlash-removal speed: 33
\r
154 \Profiler num profile axis display points 3D: 512
\r
158 \Pro. Gain factor: 1.5
\r
162 \Auto Gain: Disabled
\r
163 \Start size: 1020.23 nm
\r
164 \Pass 2 size: 1020.23 nm
\r
165 \Pass 3 size: 1020.23 nm
\r
166 \Pass 4 size: 1020.23 nm
\r
167 \Feature scan angle: 0
\r
168 \Feature Scan rate: 1
\r
169 \Feature step size: 0.138889
\r
170 \Feature setpoint: 0.1
\r
171 \Feature threshold: 2000
\r
174 \Z tolerance: 3237.22
\r
175 \Engage X offset: 0 nm
\r
176 \Engage Y offset: 0 nm
\r
177 \Engage step size: 0.138889
\r
178 \Engage Z sens.: 12.5
\r
180 \Engage Z delay: 0.5
\r
181 \Height engage: Disabled
\r
182 \Current sens.: 1 pA/V
\r
183 \Extended Current sens: 1 pA/V
\r
185 \AFM Current Sens.: 1 nA/V
\r
192 \HF lower limit: -20
\r
196 \HF engage: Disabled
\r
197 \HF current capture: 0
\r
198 \HF display: Current
\r
199 \MR preamp gain: 1000
\r
200 \MSM bias voltage: 0
\r
201 \MSM resistance: 150
\r
203 \MSM test current: 3
\r
204 \MSM max sensor resist: 200
\r
205 \MSM min sensor resist: 10
\r
206 \MSM enable: Enabled
\r
207 \MSM Probe Delay: 2
\r
210 \Strip chart : Disabled
\r
211 \Strip chart rate: 1000
\r
212 \Strip chart size: 60
\r
213 \XY Closed Loop: On
\r
214 \Analog2 High Voltage: 0
\r
215 \Analog22 High Voltage: 0
\r
216 \@InterleaveList: S [InterleaveOffMode] "Disabled"
\r
217 \@LinearizeList: S [LinearizeOffMode] "modeLinearizeOff"
\r
218 \@MicroscopeList: S [AFMMode] "Contact"
\r
219 \@Capacitance feedback: S [] ""
\r
220 \@MSMSource: S [MSMCurrentMode] "Current"
\r
221 \@2:Zmod: S [] "Disabled"
\r
222 \@3:Zmod: S [] "Disabled"
\r
223 \@4:SPMFeedbackList: S [SPMFb] "Deflection"
\r
224 \@3:SPMFeedbackList: S [SPMFb] "Deflection"
\r
225 \@2:InputFbList: S [] ""
\r
226 \@3:InputFbList: S [] ""
\r
227 \@2:Capacitance feedback: S [] ""
\r
228 \@3:Capacitance feedback: S [] ""
\r
229 \@Sens. DeflSens: V 84.77044 nm/V
\r
230 \@Sens. ZSensorSens: V 1000.000 nm/V
\r
231 \@Sens. LowVoltageZSens: V 1000.000 nm/V
\r
232 \@Sens. Friction: V 1.000000
\r
233 \@Sens. Amplitude: V 1.000000
\r
234 \@Sens. Phase: V 1.000000
\r
235 \@Sens. Frequency: V 1.000000
\r
236 \@Sens. Potential: V 1.000000
\r
237 \@Sens. dC/dV: V 1.000000
\r
238 \@Sens. Fdback bias: V 1.000000
\r
239 \@Sens. In 0: V 1.000000
\r
240 \@Sens. Thermal: V 1.000000
\r
241 \@Sens. Resistance: V 1.000000
\r
242 \@Sens. High Frequency: V 1.000000
\r
243 \@Sens. Raw defl.: V 1.000000
\r
244 \@Sample period: V (0.1000000 us/LSB) 16.50000 us
\r
245 \@Z center: V [Sens. Zsens] (0.006713867 V/LSB) 0.02014160 V
\r
246 \@1:Z limit: V [Sens. Zsens] (0.006713867 V/LSB) 365.9652 V
\r
247 \@1:DeflectionLimit: V (20.00000 V/LSB) 20.00000 V
\r
248 \@1:FM igain: V (1.000000 1/LSB) 0
\r
249 \@1:FM pgain: V (1.000000 1/LSB) 0
\r
250 \@1:AmplitudeLimit: V (20.00000 V/LSB) 20.00000 V
\r
251 \@Lift start height: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 0 V
\r
252 \@Lift scan height: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 0 V
\r
253 \@Drive height: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 0 V
\r
254 \@2:AFMSetDeflection: V (0.0003051758 V/LSB) 0 V
\r
255 \@3:AFMSetDeflection: V (0.0003051758 V/LSB) 1.000000 V
\r
256 \@2:TMSetAmplitude: V (0.0003051758 V/LSB) 1.654810 V
\r
257 \@3:TMSetAmplitude: V (0.0003051758 V/LSB) 2.000000 V
\r
258 \@2:TMSetDeflection: V (0.0003051758 V/LSB) 1.000000 V
\r
259 \@3:TMSetDeflection: V (0.0003051758 V/LSB) 1.000000 V
\r
260 \@2:TMSetPhase: V (0.005493164 º/LSB) 0 º
\r
261 \@3:TMSetPhase: V (0.005493164 º/LSB) 0 º
\r
262 \@2:STMSetCurrent: V [Sens. CurrentSens] (0.0003051758 V/LSB) 10.00000 V
\r
263 \@3:STMSetCurrent: V [Sens. CurrentSens] (0.0003051758 V/LSB) 10.00000 V
\r
264 \@2:Drive frequency: V (0.0000058208 kHz/LSB) 269.1079 kHz
\r
265 \@3:Drive frequency: V (0.0000058208 kHz/LSB) 10.00000 kHz
\r
266 \@2:Drive phase: V (0.005493164 º/LSB) 145.2667 º
\r
267 \@3:Drive phase: V (0.005493164 º/LSB) -5.000000 º
\r
268 \@2:Drive amplitude: V (0.6103516 mV/LSB) 100.0000 mV
\r
269 \@3:Drive amplitude: V (0.6103516 mV/LSB) 200.0000 mV
\r
270 \@2:Cap. feedback setpt: V (0.0003051758 V/LSB) 0 V
\r
271 \@3:Cap. feedback setpt: V (0.0003051758 V/LSB) 0 V
\r
272 \@2:Bias Frequency: V (0.0000058208 kHz/LSB) 0 kHz
\r
273 \@3:Bias Frequency: V (0.0000058208 kHz/LSB) 0 kHz
\r
274 \@2:AC bias ampl: V (0.0003051758 V/LSB) 0 V
\r
275 \@3:AC bias ampl: V (0.0003051758 V/LSB) 0 V
\r
276 \@2:DC bias: V (0.0003662109 V/LSB) 0 V
\r
277 \@3:DC bias: V (0.0003662109 V/LSB) 0 V
\r
278 \@2:Lock-in phase: V (0.005493164 º/LSB) 90.00000 º
\r
279 \@3:Lock-in phase: V (0.005493164 º/LSB) 90.00000 º
\r
280 \@2:Stray cap. adj.: V (0.0003051758 V/LSB) 0 V
\r
281 \@3:Stray cap. adj.: V (0.0003051758 V/LSB) 0 V
\r
282 \@2:Bias: V (0.3051758 mV/LSB) 0 mV
\r
283 \@3:Bias: V (0.3051758 mV/LSB) 4000.000 mV
\r
284 \@2:Analog 1: V (0.0003051758 V/LSB) 0 V
\r
285 \@3:Analog 1: V (0.0003051758 V/LSB) 0 V
\r
286 \@2:Analog 2: V (0.0003662109 V/LSB) 0 V
\r
287 \@3:Analog 2: V (0.0003662109 V/LSB) 0 V
\r
288 \@2:AFMFbIgain: V (0.03125000 1/LSB) 2.000000
\r
289 \@3:AFMFbIgain: V (0.03125000 1/LSB) 1.000000
\r
290 \@2:AFMFbPgain: V (0.03125000 1/LSB) 3.000000
\r
291 \@3:AFMFbPgain: V (0.03125000 1/LSB) 0
\r
292 \@2:AFMFbSgain: V (0.0000305176 1/LSB) 0
\r
293 \@3:AFMFbSgain: V (0.0000305176 1/LSB) 0
\r
294 \@2:TMFbIgain: V (0.03125000 1/LSB) 0.5000000
\r
295 \@3:TMFbIgain: V (0.03125000 1/LSB) 0
\r
296 \@2:TMFbPgain: V (0.03125000 1/LSB) 1.000000
\r
297 \@3:TMFbPgain: V (0.03125000 1/LSB) 0
\r
298 \@2:TMFbSgain: V (0.0000305176 1/LSB) 0
\r
299 \@3:TMFbSgain: V (0.0000305176 1/LSB) 0
\r
300 \@2:PFFbIgain: V (0.3125000 1/LSB) 0.3125000
\r
301 \@3:PFFbIgain: V (0.3125000 1/LSB) 10.00000
\r
302 \@2:PFFbPgain: V (0.3125000 1/LSB) 0.3125000
\r
303 \@3:PFFbPgain: V (0.3125000 1/LSB) 0
\r
304 \@2:PFFbSgain: V (0.0003051758 1/LSB) 0
\r
305 \@3:PFFbSgain: V (0.0003051758 1/LSB) 0
\r
306 \@2:Tip Drive phase: V (0.005493164 º/LSB) 0 º
\r
307 \@3:Tip Drive phase: V (0.005493164 º/LSB) 0 º
\r
308 \@2:MSM lock-in phase: V (0.005493164 º/LSB) 90.00000 º
\r
309 \@3:MSM lock-in phase: V (0.005493164 º/LSB) 90.00000 º
\r
310 \@2:STMFbIgain: V (0.03125000 1/LSB) 1.000000
\r
311 \@3:STMFbIgain: V (0.03125000 1/LSB) 1.000000
\r
312 \@2:STMFbPgain: V (0.03125000 1/LSB) 0
\r
313 \@3:STMFbPgain: V (0.03125000 1/LSB) 0
\r
314 \@2:STMFbSgain: V (0.0000305176 1/LSB) 0
\r
315 \@3:STMFbSgain: V (0.0000305176 1/LSB) 0
\r
317 \Scan rate: 2.17983
\r
318 \Forward vel.: 39.887
\r
319 \Reverse vel.: 39.887
\r
320 \Samps/line: 2048 2048
\r
321 \Samps/line, retrace: 2048
\r
323 \Display mode: Both
\r
325 \Rev. trigger mode: Off
\r
326 \Trig slope: Positive
\r
329 \Auto start: Disable
\r
331 \Start mode: Calibrate
\r
332 \End mode: Retracted
\r
333 \User mode: Advanced
\r
336 \Indent setpoint: -8.43015
\r
338 \Scratch length: 100 nm
\r
351 \Samples / line: 16 0
\r
352 \Z direction: Retract
\r
354 \FV scan rate: 0.213889
\r
357 \Defl. Sens. Correction: 1.07
\r
359 \Unit display: Force
\r
360 \PF PGain : 99.8779
\r
361 \PF ITime : 1.00044
\r
362 \Linearization: Enabled
\r
363 \Closed Loop: Enabled
\r
364 \Polarity: Negative
\r
365 \Feedback type: None
\r
366 \Feedback counts: 0
\r
367 \@Z scan start: V [Sens. Zsens] (0.006713867 V/LSB) -2.561757 V
\r
368 \@Z scan size: V [Sens. Zsens] (0.006713867 V/LSB) 15.38000 V
\r
369 \@Z step size: V [Sens. Zsens] (0.006713867 V/LSB) 0 V
\r
370 \@Sample period: V (0.1000000 us/LSB) 28.00000 us
\r
371 \@4:Image Data: S [Deflection] "Deflection"
\r
372 \@4:Trig threshold Deflection: V [Sens. DeflSens] (0.0003051758 V/LSB) 0.4533419 V
\r
373 \@4:Trig rev. threshold Deflection: V [Sens. DeflSens] (0.0003051758 V/LSB) -0.7000000 V
\r
374 \@4:Threshold step Deflection: V [Sens. DeflSens] (0.0003051758 V/LSB) 0 V
\r
375 \@4:Ramp channel: S [Zsweep] "Z"
\r
376 \@4:Ramp size Zsweep: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 9.149131 V
\r
377 \@4:Ramp offset Zsweep: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 4.467062 V
\r
378 \@4:Ramp Begin Zsweep: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 0 V
\r
379 \@4:Ramp End Zsweep: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 0 V
\r
380 \@4:Feedback value Zsweep: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 0 V
\r
381 \@4:Z display Zsweep: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 0 V
\r
382 \*Ciao force image list
\r
383 \Data offset: 40960
\r
386 \Start context: FOL
\r
390 \Plane fit: 0 0 0 0
\r
391 \Frame direction: Up
\r
396 \Profile speed [um/s]: 0
\r
397 \Capture start line: 0
\r
398 \Samps/line: 2048 2048
\r
400 \Realtime planefit: Line
\r
401 \Offline planefit: None
\r
402 \Z direction: Retract
\r
403 \Force display mode: Normal
\r
404 \Spring Constant: 0.0525517
\r
405 \Separation Scale: 0
\r
410 \Force TMR: 6.349924e-011
\r
411 \Scope coupling: DC
\r
412 \Smoothing filter: 0
\r
414 \STS I range: 15000
\r
415 \STS DLI/DLV range: 10
\r
416 \STS DLI/DV range: 10
\r
417 \STS DI/DV range: 10
\r
418 \STS Log(i) range: 10
\r
420 \Force Phase Offset: 0
\r
421 \Effective BW: 8928.57
\r
423 \@4:Image Data: S [Deflection] "Deflection"
\r
424 \@Z magnify: C [4:Z scale] 1.000000
\r
425 \@4:Z scale: V [Sens. DeflSens] (0.0003051758 V/LSB) 2.500000 V
\r
426 \@4:Z offset: V [Sens. DeflSens] (0.0003051758 V/LSB) 0 V
\r
427 \@4:FV scale: V [Sens. DeflSens] (0.0003051758 V/LSB) 2.500000 V
\r
428 \@4:Volume offset: V [Sens. DeflSens] (0.0003051758 V/LSB) 0 V
\r
429 \@4:Ramp channel: S [Zsweep] "Z"
\r
430 \@Z scan size: V [Sens. Zsens] (0.006713867 V/LSB) 15.38000 V
\r
431 \@4:Ramp size: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 9.149131 V
\r
432 \@4:Ramp offset: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 4.467062 V
\r
433 \@4:Ramp Begin: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 0 V
\r
434 \@4:Ramp End: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 0 V
\r
435 \@4:Z display: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 0 V
\r
436 \*Ciao force image list
\r
437 \Data offset: 49152
\r
440 \Start context: FOL
\r
444 \Plane fit: 0 0 0 0
\r
445 \Frame direction: Up
\r
450 \Profile speed [um/s]: 0
\r
451 \Capture start line: 0
\r
452 \Samps/line: 2048 2048
\r
454 \Realtime planefit: Line
\r
455 \Offline planefit: None
\r
456 \Z direction: Retract
\r
457 \Force display mode: Normal
\r
458 \Spring Constant: 0.0525517
\r
459 \Separation Scale: 0
\r
464 \Force TMR: 1.019138e-008
\r
465 \Scope coupling: DC
\r
466 \Smoothing filter: 0
\r
468 \STS I range: 15000
\r
469 \STS DLI/DLV range: 10
\r
470 \STS DLI/DV range: 10
\r
471 \STS DI/DV range: 10
\r
472 \STS Log(i) range: 10
\r
474 \Force Phase Offset: 0
\r
475 \Effective BW: 892.857
\r
477 \@4:Image Data: S [ZSensor] "Z sensor"
\r
478 \@Z magnify: C [4:Z scale] 1.000000
\r
479 \@4:Z scale: V [Sens. ZSensorSens] (0.0003051758 V/LSB) 20.00000 V
\r
480 \@4:Z offset: V [Sens. ZSensorSens] (0.0003051758 V/LSB) 0 V
\r
481 \@4:FV scale: V [Sens. ZSensorSens] (0.0003051758 V/LSB) 20.00000 V
\r
482 \@4:Volume offset: V [Sens. ZSensorSens] (0.0003051758 V/LSB) 0 V
\r
483 \@4:Ramp channel: S [Zsweep] "Z"
\r
484 \@Z scan size: V [Sens. Zsens] (0.006713867 V/LSB) 15.38000 V
\r
485 \@4:Ramp size: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 9.149131 V
\r
486 \@4:Ramp offset: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 4.467062 V
\r
487 \@4:Ramp Begin: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 0 V
\r
488 \@4:Ramp End: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 0 V
\r
489 \@4:Z display: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 0 V
\r
490 \*Ciao force image list
\r
491 \Data offset: 57344
\r
494 \Start context: FOL
\r
498 \Plane fit: 0 0 0 0
\r
499 \Frame direction: Up
\r
504 \Profile speed [um/s]: 0
\r
505 \Capture start line: 0
\r
506 \Samps/line: 2048 2048
\r
508 \Realtime planefit: Line
\r
509 \Offline planefit: None
\r
510 \Z direction: Retract
\r
511 \Force display mode: Normal
\r
512 \Spring Constant: 0.0525517
\r
513 \Separation Scale: 0
\r
518 \Force TMR: 6.349924e-011
\r
519 \Scope coupling: DC
\r
520 \Smoothing filter: 0
\r
522 \STS I range: 15000
\r
523 \STS DLI/DLV range: 10
\r
524 \STS DLI/DV range: 10
\r
525 \STS DI/DV range: 10
\r
526 \STS Log(i) range: 10
\r
528 \Force Phase Offset: 0
\r
529 \Effective BW: 8928.57
\r
530 \X data type: Ch 2:
\r
531 \@4:Image Data: S [Deflection] "Deflection"
\r
532 \@Z magnify: C [4:Z scale] 1.000000
\r
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\r
535 \@4:FV scale: V [Sens. DeflSens] (0.0003051758 V/LSB) 2.500000 V
\r
536 \@4:Volume offset: V [Sens. DeflSens] (0.0003051758 V/LSB) 0 V
\r
537 \@4:Ramp channel: S [Zsweep] "Z"
\r
538 \@Z scan size: V [Sens. Zsens] (0.006713867 V/LSB) 15.38000 V
\r
539 \@4:Ramp size: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 9.149131 V
\r
540 \@4:Ramp offset: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 4.467062 V
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541 \@4:Ramp Begin: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 0 V
\r
542 \@4:Ramp End: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 0 V
\r
543 \@4:Z display: V [Sens. Zsens] (0.0001395307 V/LSB) 0 V
\r
545 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